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기술소개(6T)

기술분류와, 특허구분, 기술명, 출원번호, 출원일자, 등기번호, 등록일자, 국가, family, 발명자, 발명의 내용, 첨부파일이 설명되어있습니다.

기술분류		구분	특허
기술명(국문)	반도체 공정 모니터링 장치 및 이를 이용한 반도체 공정 모니터링 방법
기술명(영문)
출원 번호	10-2012-0022289	출원 일자	2012-03-05
등록 번호	10-1377052	등록 일자	2014-03-27
국가	한국	Family
발명자	김정호	공동발명자	조성의, 류길호, 류환규, 박원찬
발명의 내용
첨부파일